Präzisionsaktoren für die Mikropositionierung und Nanopositionierung







NEXLINE® / NEXACT® Aktoren PILine® Ultraschall- Antriebe & -Aktoren Motorisierte Linearaktoren Hebelübersetzte Piezoaktoren PICMA® / PICA™
Piezoaktoren

PI ist der führende Hersteller von Präzisionsakuatoren zur Nanopositionierung und Mikropositionierung. Anwendungen liegen in allen High-Tech Bereichen wie z.B der Nanotechnologie, Halbleitertechnik, Biotechnik, Lasertechnik und Optik, Mikroskopie, Astronomie und Raumfahrt.


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PI bietet 5 Klassen von Linearaktoren an:

Über PI      Lernen Sie mehr über Piezotechnik im Piezo Tutorium       Wegweisende Technologien von PI.




Linearaktoren mit PiezoWalk-Antrieben

 

N-310 Kompakte OEM-Piezoschrittantriebe mit 20 mm Stellweg und 10 N Kraft

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Kompakte OEM Piezoschrittantriebe
  • Schnell: 10 mm/s
  • 20 mm Stellweg
  • Kompakte Bauform, preisgünstiges Design
  • 0,03 nm Auflösung
  • Bis 10 N Stellkraft
  • Geringe Betriebsspannungen
  • Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmentwicklung
  • Nichtmagnetisches und vakuumkompatibles Funktionsprinzip
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N-381 NEXACT® Linearaktor, Mikromanipulator, Piezostepper

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator linearaktor, mikromanipulator
  • 30 mm Stellweg
  • Verschleißfreier Piezoschreitantrieb, ideal als Mikro-/Nanomanipulator
  • Optional: Integrierter Linearencoder für höchste Genauigkeit mit 20 nm Auflösung
  • Sehr hohe Beschleunigung, z.B. für Zell-Penetration
  • Zwei Betriebsarten: Kontinuierlicher Schrittbetrieb und stufenloser, schneller Analogbetrieb für 30 pm Auflösung**
  • Bis 10 N Stellkraft
  • Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
  • Kein Mikroschritt- oder Servozittern
  • Vakuumkompatible und unmagnetische Versionen
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N-111 NEXLINE® OEM Linearaktor

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator OEM Linearaktor
  • 10 mm Stellweg
  • Bis zu 0,025 nm Auflösung ungeregelt und 5 nm geregelt
  • Bis 50 N Stellkraft und 70 N Haltekraft
  • Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
  • Nichtmagnetisches und vakuumkompatibles Funktionsprinzip
  • Verwendbar in Reinräumen
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N-216 NEXLINE® Linearaktor

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuato Linearakter
  • 20 mm Stellweg
  • Bis zu 0,03 nm Auflösung ungeregelt und 5 nm geregelt
  • Bis 800 N Haltekraft
  • Selbsthemmend im Ruhezustand
  • Nichtmagnetisches und vakuumkompatibles Funktionsprinzip
  • Verwendbar in Reinräumen
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Ultraschall-Piezolinearmotoren

 

M-272 Keramischer Linearantrieb für die Automatisierung

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuato Keramischer Linearantrieb für die Automatisierung
  • Geschwindigkeit bis 150 mm/s
  • Selbsthemmend im Ruhezustand
  • Integrierter Linearencoder
  • Integrierte Linearführung
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U-264 PILine® U-264 RodDrive Piezomotor-Direktantrieb

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Roddrive
  • Antriebskomponente zur Integration in Mikrostelltechnik-Systeme
  • Stellwege bis 150 mm
  • Stellkräfte bis 7 N
  • Kleinste Schrittweite bis 0,05 µm
  • Geschwindigkeit bis 450 mm/s
  • Selbsthemmend im Ruhezustand
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M-663 PILine® Mikrolineartische mit Ultraschall-Piezo-Motor und integriertem Linearenkoder

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Mikorlineartische
  • Kleinster Mikrostelltisch mit Piezo-Linearmotor und Linearenkoder
  • Geschwindigkeit bis zu 500 mm/s
  • Beschleunigung bis zu 20 g
  • Auflösung bis zu 0,1 µm
  • Integrierter Linearenkoder (Direktmetrologie)
  • 20 mm Stellweg
  • Selbsthemmend
  • XY-Kombinationen möglich
  • 20.000 h MTBF
  • Vakuumversionen verfügbar
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Motorisierte Linearaktoren

 

M-227 DC-Mike: Hochauflösende Linearaktuatoren

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Linearaktuatoren
  • 10, 25 und 50 mm Stellweg
  • 0,05 µm kleinste Schrittweite
  • Nichtdrehendes Kopfstück
  • Geregelter DC-Motor
  • Sub-nm-Auflösung mit optionalem Piezo-Antrieb
  • >5.000 h MTBF
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M-228, M-229 Preisgünstiger Stepper-Mike Linearaktor mit Schrittmotor

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Stepper Mike
  • Kostengünstiges Design
  • 10 mm oder 25 mm Stellweg
  • 46 nm Auflösung (mit C-663 Controller)
  • Nichtdrehendes Kopfstück
  • Höchstgeschwindigkeit 1,5 mm/s
  • Kontaktlose End- und Referenzschalter
  • Kompakte Bauform
M-228 PDF     M-228 Online Datenblatt
M-229 PDF     M-229 Online Datenblatt




M-230 DC-Mike / Stepper-Mike: Hochauflösender Präzisionsaktor

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Stepper Mike
  • 10 bzw. 25 mm Stellweg
  • 0,05 µm kleinste Schrittweite
  • Nichtdrehendes Kopfstück
  • Geschwindigkeit bis zu 2 mm/s
  • Geregelte DC- und Schrittmotoren
  • Kontaktlose End- und Referenzschalter
  • Klemm- oder Frontmontage
  • >20.000 h MTBF
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M-231 DC-Mike: Hochauflösender Präzisions- Linearaktuator

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator DC Mike
  • 17 mm Stellweg
  • 0,1 µm kleinste Schrittweite
  • Geschwindigkeit bis zu 2,5 mm/s
  • Geregelter DC-Motor
  • Kontaktlose End- und Referenzschalter
  • Passt an M-105 & F-110 Faserpositionierer
  • >5.000 h MTBF
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M-232 DC-Mike: Hochauflösender kompakter Linearaktuator

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator DC Mike
  • 17 mm Stellweg
  • 0,1 µm kleinste Schrittweite
  • Geschwindigkeit bis zu 2,5 mm/s
  • Geregelter DC-Motor
  • Kontaktlose End- und Referenzschalter
  • Passt an M-105 & F-110 Faserpositionierer
  • >5.000 h MTBF
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M-235 DC-Mike / Stepper-Mike Hochlast-Linearaktuatoren

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator DC Mike, Stepper Mike
  • 20 mm bzw. 50 mm Stellweg
  • 0,1 µm kleinste Schrittweite
  • Schneller Direktantrieb
  • 120 N Druck- / Zugbelastbarkeit
  • 100 N Querbelastbarkeit
  • Vorgespannte reibungsarme Kugelspindel
  • Geregelte DC- und Schrittmotoren
  • Kontaktlose End- und Referenzschalter
  • >20.000 h MTBF
  • Vakuumversionen bis 10-6 hPa
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M-238 DC-Mike Hochlast-Linearaktoren

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator DC Mike
  • Hohe Belastbarkeit bis 400 N
  • Stellweg 50 mm
  • Auflösung bis 0,1 µm
  • Höchstgeschwindigkeit 30 mm/s
  • Vorgespannte, reibungsfreie Kugelumlaufspindel
  • Optional: Linearenkoder für direkte Positionsauswertung
  • MTBF >20.000 h
  • Vakuumkompatible Versionen erhältlich bis 10-6 hPa
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M-168 Stepper-Mike hochauflösende Linearaktuatoren

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Stepper Mike
  • 10, 25 und 50 mm Stellweg
  • Auflösung <0,1 µm
  • 2- und 5-Phasen-Schrittmotoren + Handrad
  • Sub-nm-Auflösung mit optionalem Piezotranslator
  • >5.000 h MTBF
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M-631 Mikrometerschrauben mit nichtdrehendem Kopfstück

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Mikrometerschrauben
  • 10, 25 und 50 mm Stellweg
  • Steigung 0,5 mm/U
  • Reibungsarmer Aufbau
  • Auflösung: 1 µm manuell, bis 0,05 µm mit Motor
  • Sub-nm-Auflösung mit optionalem Piezotranslator
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M-653 Differenzialmikrometerschrauben

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Differenzialmikometerschrauben
  • 0,1 µm Einstellempfindlichkeit
  • 1 µm Teilungen
  • Stellweg bis 20 mm
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Hebelübersetzte Piezo-Aktoren

 

P-601 Hochpräzise PiezoMove® Hebelaktoren mit Festkörperführung

 
Präzisions-Aktor, Präzisios AktuatorHebalaktoren
  • Festkörperführungen für sehr hohe Ablaufgenauigkeit
  • Stellwege bis 480 µm
  • Auflösung bis 0,2 nm
  • Hohe Dynamik und Steifigkeit
  • Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezo-Aktoren
  • Versionen mit DMS-Sensoren
  • Ideal für OEM-Anwendungen
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P-602 PiezoMove® Linearaktor mit hoher Steifigkeit. Integrierte Führung, stark und große Stellwege

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Linearaktor
  • Festkörperführungen für verkippungsfreie lineare Bewegung
  • Stellwege bis 1 Millimeter
  • Kräfte bis 400 N, steife und spielfreie Konstruktion
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • Optional mit integrierten Positionssensoren
  • Kundenspezifische Versionen mit längerem Stellweg, kürzerer Ansprechzeit oder nicht-magnetisch
  • Ideal für OEM-Anwendungen in Adaptronik, Biotechnologie oder Mikrofluidik
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P-603 PiezoMove® Linearaktor Preisgünstig und große Stellwege

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Linearaktor
  • Spielfreie Festkörperführungen für sehr hohe Ablaufgenauigkeit
  • Stellwege bis 500 µm
  • Preisgünstig zu fertigen
  • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
  • Optional mit integrierten Positionssensoren
  • Ideal für OEM-Anwendungen in Optik, Medizin, Biotechnologie und Mikrofluidik
  • Kundenspezifische Versionen mit längerem Stellweg, kürzerer Ansprechzeit oder nicht-magnetisch
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P-290 Nanohubtisch mit Piezoantrieb

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Nanohubtisch mit Piezoantrieb
  • Vertikaler Stellweg bis 1000 µm
  • Integrierte Doppel-Hebelübersetzung
  • Konstruktion aus unmagnetischem Stahl
  • Vakuumkompatible Versionen
  • Integrierte Festkörpergelenke für höchste Führungsgenauigkeit
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P-753 LISA - Hochdynamische Piezo-Nanostelltische / Aktoren mit Direktmetrologie

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Piezo Nanostelltische / Aktoren
  • Kombination aus Stelltisch und Aktor
  • Reibungsfreie Festkörpergelenke für höchste Führungsgenauigkeit und spielfreie Bewegung
  • 0,05 nm Auflösung
  • Direktmetrologie mit Kapazitivsensoren für höchste Genauigkeit
  • Minimale Ansprechzeit
  • PICMA® Hochleistungs-Piezo-Aktoren
  • ID-Chip zum automatischen Abgleich
  • Vakuumausführungen
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Piezo-Aktoren

 

P-882 – P-888 PICMA® keramisch isolierte Hochleistungs-Piezo-Aktoren (LVPZT)

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Hochleistungs Piezo Aktoren
  • Überlegene Lebensdauer auch unter extremen Bedingungen
  • Sehr großer Betriebstemperaturbereich
  • Unempfindlich gegen Luftfeuchtigkeit
  • Hervorragende Temperaturstabilität
  • Hohe Steifigkeit
  • UHV-Kompatibel bis 10-9 hPa
  • Sub-ms Ansprechzeit
  • Sub-nm Auflösung
  • Ideal für den geregelten Betrieb
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P-007 – P-056 PICAStack Piezo-Aktoren (HVPZT)

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Stack piezo Aktoren
  • Hohe Belastbarkeit bis 100 kN
  • Hohe Krafterzeugung bis 80 kN
  • Große Querschnitte bis 56 mm Durchmesser
  • Verschiedene Geometrien
  • Sehr zuverlässig: > 109 Zyklen
  • Sub-ms Ansprechzeit, Sub-nm Auflösung
  • Vakuumkompatible und unmagnetische Versionen
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PL022 PICMA® PICMA®Chip Miniatur Piezo-Aktoren (LVPZT)

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Chip Miniatur Piezo-Aktoren
  • Ultra-kompakt: ab 2 x 2 x 2 mm
  • Druckbelastbarkeit bis 1000 N
  • Sub-ms Ansprechzeit
  • Sub-nm Auflösung
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P-840 Vorgespannte Piezo-Aktoren (LVPZT) mit Sensoroption

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Vorgesspannte Piezo-Aktoren
  • Stellweg bis 90 µm
  • Kompaktes Gehäuse
  • Druckbelastbarkeit bis 1000 N
  • Zugbelastbarkeit bis 50 N
  • Sub-ms Ansprechzeit
  • Sub-nm Auflösung
  • Optionen: Kugelkopfstück, Vakuumausführung
P-840 PDF    P-840 Online Datenblatt
P-842 PDF    P-842 Online Datenblatt




P-212 · P-216 & P-225 · P-235 Vorgespannte PICA™ Power Piezoaktoren (HVPZT) mit Sensoroption

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Vorgespannte Piezoaktoren
  • Stellweg bis 180 µm
  • Druckbelastbarkeit bis 4500 N oder 30.000 N
  • Zugbelastbarkeit bis 500 N oder 3.500
  • Sub-Millisekunden Ansprechzeit
  • Sub-Nanometer Auflösung
  • Optional: Vakuum, hoch- und tieftemperaturgeeignet
P-212 · P-216 PDF    P-212 · P-216 Online Datenblatt
P-225 · P-235 PDF    P-225 · P-235 Online Datenblatt


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P-871 PICMA® Multilayer-Piezobiegeaktoren mit Positionssensor

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Multilayer-piezobiegeaktoren
  • Positionssensor für hohe Genauigkeit
  • Nanometer Auflösung
  • Auslenkung bis 1,6 mm
  • Keramische Isolation für hohe Lebensdauer
  • Ideal für Scan-Anwendungen
  • Vakuumkompatible Versionen
  • Geringe Betriebsspannung
  • Montageadapter inklusive
  • Spezielle OEM- und Tischcontroller verfügbar
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P-876 DuraAct™ piezoelektrische Flächenwandler

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Flaechenwandler
  • Einsatz als Aktor, Sensor oder Energieerzeuger
  • Große Keramikverformung möglich
  • Applizierbar auf gekrümmten Flächen
  • Individuelle Lösungen
  • Kostengünstig
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PT120–PT140 PT-Tube Piezorohre

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Tube Piezorohre
  • Standard und Sondergrößen
  • XYZ-Positionierung
  • Sub-nm Auflösung
  • Ideal für OEM-Anwendungen
  • Vakuumtauglich
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P-111–P-151 PICA-Shear Scherpiezoaktoren – kompakte Mehrachssysteme

 
Präzisions-Aktor, Präzisios Aktuator Scherpiezoaktoren
  • Kompakte Mehrachsen-Aktoren
  • X-, XY-, XZ- und XYZ-Versionen
  • Hohe Resonanzfrequenzen
  • Sehr zuverlässig: >109 Zyklen
  • Ideal für Rastermikroskopie (AFM, SPM)
  • Pikometer-Auflösung / Sub-ms Ansprechzeit
  • UHV-kompatible Versionen bis 10-9hPa
  • Optionen: Unmagnetische Versionen, Apertur
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