 |
|
|
| Präzisionsaktoren für die Mikropositionierung und Nanopositionierung |
|
| NEXACT® & NEXLINE® Piezo-Nanopositionier-Linearantriebe mit grossen Stellwegen und Hohen Kräften
|
|
| N-111 NEXLINE® OEM Linearaktor
|
|
| |
- 10 mm Stellweg
- Bis zu 0,025 nm Auflösung ungeregelt und 5 nm geregelt
- Bis 50 N Stellkraft und 70 N Haltekraft
- Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
- Nichtmagnetisches und vakuumkompatibles Funktionsprinzip
- Verwendbar in Reinräumen
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
N-111
|
| N-310 Kompakte OEM-Piezoschrittantriebe mit 20 mm Stellweg und 10 N Kraft
|
|
| |
- Schnell: 10 mm/s
- 20 mm Stellweg
- Kompakte Bauform, preisgünstiges Design
- 0,03 nm Auflösung
- Bis 10 N Stellkraft
- Geringe Betriebsspannungen
- Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmentwicklung
- Nichtmagnetisches und vakuumkompatibles Funktionsprinzip
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
N-310
|
| N-381 NEXACT® Linearaktor, Mikromanipulator, Piezostepper
|
|
| |
- 30 mm Stellweg
- Verschleißfreier Piezoschreitantrieb, ideal als Mikro-/Nanomanipulator
- Optional: Integrierter Linearencoder für höchste Genauigkeit mit 20 nm Auflösung
- Sehr hohe Beschleunigung, z.B. für Zell-Penetration
- Zwei Betriebsarten: Kontinuierlicher Schrittbetrieb und stufenloser, schneller Analogbetrieb für 30 pm Auflösung**
- Bis 10 N Stellkraft
- Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
- Kein Mikroschritt- oder Servozittern
- Vakuumkompatible und unmagnetische Versionen
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
N-381
|
| N-216 NEXLINE® Linearaktor
|
|
| |
- 20 mm Stellweg
- Bis zu 0,03 nm Auflösung ungeregelt und 5 nm geregelt
- Bis 800 N Haltekraft
- Selbsthemmend im Ruhezustand
- Nichtmagnetisches und vakuumkompatibles Funktionsprinzip
- Verwendbar in Reinräumen
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
N-216
|
| Ultraschall-Piezolinearmotoren |
|
| M-674 PILine® RodDrive integrierter Linearantrieb mit Piezomotoren
|
|
| |
- Antriebskomponente zur Integration in Mikrostelltechnik-Systeme
- Stellwege bis 150 mm
- Stellkräfte bis 7 N
- Kleinste Schrittweite bis 0,05 µm
- Geschwindigkeit bis 450 mm/s
- Selbsthemmend im Ruhezustand
|
| P-661 PILine® schnelle und kompakte OEM-Piezolinearmotoren
|
|
| |
- Minimale Abmessungen
- Patentiertes Konzept mit deutlich höheren Kräften
- Geschwindigkeit bis zu 600 mm/s
- Beschleunigung bis zu 15 g
- Kleinste Schrittweiten bis zu 0,05 µm
- Selbsthemmend mit 1,5 N
- 20.000 h MTBF
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
P-661
|
| U-164 PILine® Piezolinearantrieb Schneller, kompakter OEM Ultraschallmotor |
|
| |
- Patentiertes Konzept mit hohen Kräften bei kompaktem Bauraum
- Leichte Montierbarkeit
- Höchstgeschwindigkeit 500 mm/s
- Beschleunigung bis zu 5 g
- Kleinste Schrittweite bis zu 0,05 µm
- Selbsthemmend, Druck-/Zugkraft bis 4 N
- Keine elektromagnetischen Felder
- Auch in Aktoren und Positioniersysteme integriert erhältlich
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
U-164
|
| M-661 - M-662 PILine® Mikrolineartische mit Piezo-Ultraschallmotor
|
|
| |
- Kleinste Mikrostelltische mit Linear-Piezo-Ultraschallmotor
- Geschwindigkeit bis zu 500 mm/s
- Beschleunigung bis zu 20 g
- Schrittweiten an 50 nm
- 20 mm Stellweg
- Selbsthemmend
- XY-Kombinationen möglich
- 20.000 h MTBF
- Vakuumversionen bis 10-7 hPa
|
| M-663 PILine® Mikrolineartische mit Ultraschall-Piezo-Motor und integriertem Linearenkoder
|
|
| |
- Kleinster Mikrostelltisch mit Piezo-Linearmotor und Linearenkoder
- Geschwindigkeit bis zu 500 mm/s
- Beschleunigung bis zu 20 g
- Auflösung bis zu 0,1 µm
- Integrierter Linearenkoder (Direktmetrologie)
- 20 mm Stellweg
- Selbsthemmend
- XY-Kombinationen möglich
- 20.000 h MTBF
- Vakuumversionen verfügbar
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
M-663
|
Motorisierte Linearaktoren
|
| M-227 DC-Mike: Hochauflösende Linearaktuatoren
|
|
| |
- 10, 25 und 50 mm Stellweg
- 0,05 µm kleinste Schrittweite
- Nichtdrehendes Kopfstück
- Geregelter DC-Motor
- Sub-nm-Auflösung mit optionalem Piezo-Antrieb
- >5.000 h MTBF
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
M-227
|
| M-228, M-229 Preisgünstiger Stepper-Mike Linearaktor mit Schrittmotor
|
|
| |
- Kostengünstiges Design
- 10 mm oder 25 mm Stellweg
- 46 nm Auflösung (mit C-663 Controller)
- Nichtdrehendes Kopfstück
- Höchstgeschwindigkeit 1,5 mm/s
- Kontaktlose End- und Referenzschalter
- Kompakte Bauform
|
|
M-228 PDF
| |
Online Datenblatt
M-228
|
|
M-229 PDF
| |
Online Datenblatt
M-229
|
| M-230 DC-Mike / Stepper-Mike: Hochauflösender Präzisionsaktor
|
|
| |
- 10 bzw. 25 mm Stellweg
- 0,05 µm kleinste Schrittweite
- Nichtdrehendes Kopfstück
- Geschwindigkeit bis zu 2 mm/s
- Geregelte DC- und Schrittmotoren
- Kontaktlose End- und Referenzschalter
- Klemm- oder Frontmontage
- >20.000 h MTBF
|
| M-231 DC-Mike: Hochauflösender Präzisions- Linearaktuator
|
|
| |
- 17 mm Stellweg
- 0,1 µm kleinste Schrittweite
- Geschwindigkeit bis zu 2,5 mm/s
- Geregelter DC-Motor
- Kontaktlose End- und Referenzschalter
- Passt an M-105 & F-110 Faserpositionierer
- >5.000 h MTBF
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
M-231
|
| M-232 DC-Mike: Hochauflösender kompakter Linearaktuator
|
|
| |
- 17 mm Stellweg
- 0,1 µm kleinste Schrittweite
- Geschwindigkeit bis zu 2,5 mm/s
- Geregelter DC-Motor
- Kontaktlose End- und Referenzschalter
- Passt an M-105 & F-110 Faserpositionierer
- >5.000 h MTBF
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
M-232
|
| M-235 DC-Mike / Stepper-Mike Hochlast-Linearaktuatoren
|
|
| |
- 20 mm bzw. 50 mm Stellweg
- 0,1 µm kleinste Schrittweite
- Schneller Direktantrieb
- 120 N Druck- / Zugbelastbarkeit
- 100 N Querbelastbarkeit
- Vorgespannte reibungsarme Kugelspindel
- Geregelte DC- und Schrittmotoren
- Kontaktlose End- und Referenzschalter
- >20.000 h MTBF
- Vakuumversionen bis 10-6 hPa
|
| M-238 DC-Mike Hochlast-Linearaktoren
|
|
| |
- Hohe Belastbarkeit bis 400 N
- Stellweg 50 mm
- Auflösung bis 0,1 µm
- Höchstgeschwindigkeit 30 mm/s
- Vorgespannte, reibungsfreie Kugelumlaufspindel
- Optional: Linearenkoder für direkte Positionsauswertung
- MTBF >20.000 h
- Vakuumkompatible Versionen erhältlich bis 10-6 hPa
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
M-238
|
| M-168 Stepper-Mike hochauflösende Linearaktuatoren
|
|
| |
- 10, 25 und 50 mm Stellweg
- Auflösung <0,1 µm
- 2- und 5-Phasen-Schrittmotoren + Handrad
- Sub-nm-Auflösung mit optionalem Piezotranslator
- >5.000 h MTBF
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
M-168
|
| M-631 Mikrometerschrauben mit nichtdrehendem Kopfstück
|
|
| |
- 10, 25 und 50 mm Stellweg
- Steigung 0,5 mm/U
- Reibungsarmer Aufbau
- Auflösung: 1 µm manuell, bis 0,05 µm mit Motor
- Sub-nm-Auflösung mit optionalem Piezotranslator
|
| M-653 Differenzialmikrometerschrauben
|
|
| |
- 0,1 µm Einstellempfindlichkeit
- 1 µm Teilungen
- Stellweg bis 20 mm
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
M-653
|
Hebelübersetzte Piezo-Aktoren
|
| P-601 Hochpräzise PiezoMove® Hebelaktoren mit Festkörperführung
|
|
| |
- Festkörperführungen für sehr hohe Ablaufgenauigkeit
- Stellwege bis 480 µm
- Auflösung bis 0,2 nm
- Hohe Dynamik und Steifigkeit
- Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezo-Aktoren
- Versionen mit DMS-Sensoren
- Ideal für OEM-Anwendungen
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
P-601
|
| P-602 PiezoMove® Linearaktor mit hoher Steifigkeit. Integrierte Führung, stark und große Stellwege |
|
| |
- Festkörperführungen für verkippungsfreie lineare Bewegung
- Stellwege bis 1 Millimeter
- Kräfte bis 400 N, steife und spielfreie Konstruktion
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- Optional mit integrierten Positionssensoren
- Kundenspezifische Versionen mit längerem Stellweg, kürzerer Ansprechzeit oder nicht-magnetisch
- Ideal für OEM-Anwendungen in Adaptronik, Biotechnologie oder Mikrofluidik
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
P-602
|
| P-603 PiezoMove® Linearaktor Preisgünstig und große Stellwege |
|
| |
- Spielfreie Festkörperführungen für sehr hohe Ablaufgenauigkeit
- Stellwege bis 500 µm
- Preisgünstig zu fertigen
- Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
- Optional mit integrierten Positionssensoren
- Ideal für OEM-Anwendungen in Optik, Medizin, Biotechnologie und Mikrofluidik
- Kundenspezifische Versionen mit längerem Stellweg, kürzerer Ansprechzeit oder nicht-magnetisch
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
P-601
|
| P-290 Nanohubtisch mit Piezoantrieb
|
|
| |
- Vertikaler Stellweg bis 1000 µm
- Integrierte Doppel-Hebelübersetzung
- Konstruktion aus unmagnetischem Stahl
- Vakuumkompatible Versionen
- Integrierte Festkörpergelenke für höchste Führungsgenauigkeit
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
P-290
|
| P-753 LISA - Hochdynamische Piezo-Nanostelltische / Aktoren mit Direktmetrologie
|
|
| |
- Kombination aus Stelltisch und Aktor
- Reibungsfreie Festkörpergelenke für höchste Führungsgenauigkeit und spielfreie Bewegung
- 0,05 nm Auflösung
- Direktmetrologie mit Kapazitivsensoren für höchste Genauigkeit
- Minimale Ansprechzeit
- PICMA® Hochleistungs-Piezo-Aktoren
- ID-Chip zum automatischen Abgleich
- Vakuumausführungen
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
P-753
|
Piezo-Aktoren
|
| P-882 – P-888
PICMA® keramisch isolierte Hochleistungs-Piezo-Aktoren (LVPZT)
|
|
| |
- Überlegene Lebensdauer auch unter extremen Bedingungen
- Sehr großer Betriebstemperaturbereich
- Unempfindlich gegen Luftfeuchtigkeit
- Hervorragende Temperaturstabilität
- Hohe Steifigkeit
- UHV-Kompatibel bis 10-9 hPa
- Sub-ms Ansprechzeit
- Sub-nm Auflösung
- Ideal für den geregelten Betrieb
|
| P-007 – P-056
PICA™Stack Piezo-Aktoren (HVPZT)
|
|
| |
- Hohe Belastbarkeit bis 100 kN
- Hohe Krafterzeugung bis 80 kN
- Große Querschnitte bis 56 mm Durchmesser
- Verschiedene Geometrien
- Sehr zuverlässig: > 109 Zyklen
- Sub-ms Ansprechzeit, Sub-nm Auflösung
- Vakuumkompatible und unmagnetische Versionen
|
| PL022 PICMA® PICMA®Chip Miniatur Piezo-Aktoren (LVPZT)
|
|
| |
- Ultra-kompakt: ab 2 x 2 x 2 mm
- Druckbelastbarkeit bis 1000 N
- Sub-ms Ansprechzeit
- Sub-nm Auflösung
|
| P-840
Vorgespannte Piezo-Aktoren (LVPZT) mit Sensoroption
|
|
| |
- Stellweg bis 90 µm
- Kompaktes Gehäuse
- Druckbelastbarkeit bis 1000 N
- Zugbelastbarkeit bis 50 N
- Sub-ms Ansprechzeit
- Sub-nm Auflösung
- Optionen: Kugelkopfstück, Vakuumausführung
|
| P-212 · P-216 & P-225 · P-235 Vorgespannte PICA™ Power Piezoaktoren (HVPZT) mit Sensoroption
|
|
| |
- Stellweg bis 180 µm
- Druckbelastbarkeit bis 4500 N oder 30.000 N
- Zugbelastbarkeit bis 500 N oder 3.500
- Sub-Millisekunden Ansprechzeit
- Sub-Nanometer Auflösung
- Optional: Vakuum, hoch- und tieftemperaturgeeignet
|
| P-871
PICMA® Multilayer-Piezobiegeaktoren mit Positionssensor
|
|
|
- Positionssensor für hohe Genauigkeit
- Nanometer Auflösung
- Auslenkung bis 1,6 mm
- Keramische Isolation für hohe Lebensdauer
- Ideal für Scan-Anwendungen
- Vakuumkompatible Versionen
- Geringe Betriebsspannung
- Montageadapter inklusive
- Spezielle OEM- und Tischcontroller verfügbar
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
P-871
|
| P-876
DuraAct™ piezoelektrische Flächenwandler
|
|
|
- Einsatz als Aktor, Sensor oder Energieerzeuger
- Große Keramikverformung möglich
- Applizierbar auf gekrümmten Flächen
- Individuelle Lösungen
- Kostengünstig
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
P-876
|
| PT120–PT140 PT-Tube Piezorohre |
|
|
- Standard und Sondergrößen
- XYZ-Positionierung
- Sub-nm Auflösung
- Ideal für OEM-Anwendungen
- Vakuumtauglich
|
| P-111–P-151
PICA-Shear Scherpiezoaktoren – kompakte Mehrachssysteme
|
|
|
- Kompakte Mehrachsen-Aktoren
- X-, XY-, XZ- und XYZ-Versionen
- Hohe Resonanzfrequenzen
- Sehr zuverlässig: >109 Zyklen
- Ideal für Rastermikroskopie (AFM, SPM)
- Pikometer-Auflösung / Sub-ms Ansprechzeit
- UHV-kompatible Versionen bis 10-9hPa
- Optionen: Unmagnetische Versionen, Apertur
|
|
PDF
| |
Online Datenblatt
P-111
|
|
